加速度傳感器有哪幾種分類(加速度傳感器的特性)
加速度傳感器或加速度計可以精確測量各種應用的振動或沖擊。加速度傳感器用于測量振動、沖擊、位移、速度和傾斜度。那么,加速度傳感器有哪幾種分類?加速度傳感器的特性是什么呢?下面我們就來介紹。
加速度傳感器有哪幾種分類?
1、壓電式加速度傳感器
壓電加速度傳感器的原理是利用壓電陶瓷或石英晶體的壓電效應。當加速度傳感器振動時,質量塊施加到壓電元件上的力會相應變化。當測量的振動頻率遠低于加速度傳感器的固有頻率時,力的變化與測量的加速度成正比。
2、壓阻式加速度傳感器
基于世界領先的MEMS硅微加工技術,壓阻式加速度傳感器具有體積小、功耗低的特點,易于集成到各種模擬和數字電路中。廣泛應用于汽車碰撞實驗、檢測儀器、設備振動監測等。
3、電容式加速度傳感器
電容式加速度傳感器是基于電容原理變化很大的電容式傳感器。電容式加速器在某些領域是不可替代的,例如安全氣囊、移動設備等。它通常采用微機電系統(MEMS)技術,在批量生產中經濟實惠,從而確保成本較低。
加速度傳感器的特性:
1、靈敏度:靈敏度是由一定力產生的輸出電壓,以g為單位。它通常以指定條件下每單位加速度的伏特數表示。加速度傳感器的靈敏度通常在正弦波形狀的單個參考頻率下測量。
2、頻率響應:是加速度傳感器應工作的頻率范圍內的輸出信號。
3、加速度范圍:是加速度傳感器輸出信號規格支持的加速度級別,通常以 ±g 為單位指定。
4、溫度引起的靈敏度變化:指定為每oC的變化百分比。
5、非線性:是加速度計響應與完全線性響應偏差的測量值。它指定為相對于滿量程范圍 (%FSR) 或滿量程 (%FS) ±的百分比。
6、零g電平:以V為單位,它指定了0g加速度下輸出端可能預期的電壓范圍。
7、跨軸靈敏度:是衡量當加速度施加到另一個軸上時在一個軸上看到多少輸出的量度,通常以百分比形式指定。兩個軸之間的耦合是由對準誤差、蝕刻不準確和電路串擾共同造成的。
8、噪聲密度:噪聲密度,單位為 ug/rt(Hz) RMS,是噪聲輸出功率譜密度的平方根。